半導体装置関連機器 <一覧表>
型番 製品名 備考
SE-1000   低価格マニュアルプローバ 実体顕微鏡搭載型 低価格マニュアルプロ−バ−です。  
SE-1100   低価格マニュアルプローバ 金属顕微鏡搭載型 低価格マニュアルプロ−バ−です。  
SE-6003 マニュアルプローバ 微小サイズ(4mm角程度)から200mmウエハー対応。  
SE-2108 解析用マニュアルプローブ装置 標準チャックの他に、ホットチャック・サーモチャックも実装可能。  
SE-6105   マニュアルプローバ φ300mmウエハー対応コンパクト設計と優れた剛性を持つマニュアルプロ−バ−です。  
VP-6903 真空チャンバー付きプローブ装置 真空や窒素ガス等、無酸素雰囲気下での測定が可能です。  
AT-6602 サーモチャックコントロール装置 本製品は、現在生産を中止しています。  
SE-6101 マニュアルプローバ  
SE-6102 高周波テストヘッド対応マニュアルプローブ装置  
IL-6400 TDDB評価装置  
AT-3000 ホットチャックコントロール装置 ホットチャック用 温度コントロール装置です。  
アクセサリ プローブ装置 附属品 アダプタ・チャックトップ・シールドボックス・コネクタパネル・マザーボード・ポジショナ・プローブヘッド、プローブ針、ケーブル、コネクタ