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| 型番
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VP-6900
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| 製品名
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真空チャンバー付きプローブ装置
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| 特徴
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本装置の真空チャンバーは、真空又はアルゴンガスを供給し無酸素雰囲気で、高温下での試料の酸化を防止し半導体デバイスの電気特性を測定することを目的しています。
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特長
●真空チャンバー内のステージのX-Y動作、マニピュレータのX-Y-Z動作、プローブキャリア（マニピュレータ搭載台）のZ動作を外部操作できます。
●試料台の温度は最高800℃まで制御できます。
●プローブ針側での雑音電流は1pA/0〜20V at
500℃です。
●信号出力コネクタは3ラグタイプ Triaxial/J仕様で、アジレント・テクノロジ社4155/4156Bに適合いたします。
●チャンバーは，冷却水循環装置で冷却しています。
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