| 仕様 |
|
|
| ●チャック関係 |
|
|
| チャック本体外径 |
|
φ330mm |
| ウェハ取付面外径 |
|
φ305mm |
| チャック本体高さ |
|
65mm |
| 適用ウェハ |
|
12”専用 |
| 許容チャック最大温度 |
|
+300℃（HOT Chuck使用時） |
| 真空吸着経路 |
|
1経路（ON/OFF-SW付） |
|
|
|
| ●XYZθステージ関係 |
|
|
| XY移動量 |
|
φ310mmの範囲（41.7mm/rev） |
| XY微動量 |
|
±10mm（1.00mm/rev） |
|
|
（但し、微動量はφ310mmの範囲内） |
| θ可変量 |
|
±5deg（0.38deg/rev） |
| Z可変量 |
|
10mm（0.4mm/rev） |
| チャックローディング |
|
300mm（ロック機構付） |
|
|
|
| ●プローブカード関係 |
|
|
| 適用カード外形 |
|
215mm×114.3mm×t1.6mm |
| プローブコンタクト量 |
|
0.4mm（エアーハイドロシリンダ駆動） |
| カード回転微動量 |
|
±5deg（ロック機構付） |
|
|
|
| ●顕微鏡関係 |
|
|
| 適用顕微鏡 |
|
VMZ40R-BL（ミツトヨ製）とその互換機種 |
| 適用レーザー |
|
LR-2100（HOYA製）とその互換機種 |
| X微動量 |
|
50mm（0.5mm/rev） |
| Y微動量 |
|
50mm（0.5mm/rev） |
| 顕微鏡退避量 |
|
150mm（エアーシリンダー駆動） |
|
|
|
|
|
|
| アクセサリー |
|
|
| ・顕微鏡 |
|
ミツトヨ製（FS-70＆VM Zoom40シリーズ） |
| ・プローブカードアダプタ |
|
CA-6111（プローブカードガイド幅114.3mm） |
| ・プローブヘッド |
|
MA-6141（標準アーム） |
|
|
MA-6142（シールドアーム） |
|
|
MA-6143（同軸アーム） |
|
|
PA-6118（ピコプローブ用アダプタ） |
| ・マイクロポジショナー |
|
MP-6123/24（ラバーマグネットタイプ） |
|
|
MP-6123M/24M |
|
|
（マグネット固定式ON/OFF機能付） |
| ・マイクロマニピュレータ |
|
MM-6121M/22M |
|
|
（マグネット固定式ON/OFF機能付） |
| ・差動式マニピュレータ |
|
MM-6127M/6128M |
|
|
（マグネット固定式ON/OFF機能付） |
| ・シールドボックス |
|
SB-6105 |
| ・コネクタパネル |
|
CP-6137（HP4145対応パネル） |
|
|
CP-6138（HP4155/56C対応パネル） |
| ・温度コントロール装置 |
|
AT-6600Xb（ホットチャック温度コントローラ） |
| ・YAGレーザー発信器 |
|
HOYAコンティニアム製
HCL-2100シリーズ、HCL-3000シリーズ |
| ・その他 |
|
プローブ針 同軸ケーブル Triaxialケーブル etc. |
|
|
|
|
|
|
| ユーティリティー |
|
|
| ・電源電圧 |
|
AC100V 50/60Hz |
| ・消費電力 |
|
12W以下 |
| ・真空量 |
|
500hPa. |
| ・圧空量 |
|
5kg/cm2（6mmクイック継手） |
| 寸法・重量 |
|
|
| ・外形寸法 |
|
1130mm（W）×1100mm（D）×1765mm（H） |
| ・装置重量 |
|
約700kg（装置本体分のみ） |
