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| 型番
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SE-6003
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| 製品名
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マニュアルプローバ
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| 特徴
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微小サイズ（4mm角程度）から200mmウエハー対応
▼ 特長
●実体顕微鏡から金属顕微鏡までバージョンアップが可能
●試料台Ｘ-Ｙステージはフリーモーションステージにより、スライド式粗動軸とリニアガイド式微動軸で構成され、迅速かつ高精度な位置合わせが行えます。
●コンタクトモードの時のフリーモーションステージは固定され、プローブ針や試の損傷を防ぎます。
●顕微鏡サポートタワー機構により、試料やプローブ針や試料の交換が安全かつ容易に行えます。
●試料台の着脱ができ、計測目的に応じた組合せが可能です。
●低電流測定が可能（シールドボックスに搭載使用において）
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