SE-1000 マニュアルプローバ
SE-1000
実体顕微鏡を実装し、試料サイズ10mm角からφ5インチウェハーまでプロービングが可能です。
持ち運びが容易に行えるよう、小型・軽量化を実現しました。
ステージは、X・Y・θで構成され小型ながら優れた操作性を提供します。
低価格を実現しました。
  基本構成価格 \1,500,000.- 〜
プローバ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1台
5インチ用チャック ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1台
マイクロポジショナー(MP-100/110)
標準アームを含む
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 各2台
実体顕微鏡(オリンパス製 SZ61型)
接眼レンズ、対物レンズ及び
照明装置を含む
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
真空ポンプ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
チャック・トップ外形 φ130mm
チャック・トップ平坦度 ±20μm以下
X-Yステージ移動量 X軸:127mm、Y軸:180mm
試料台ローテーション 360°(ホットチャック搭載時180°)
プローブキャリアZ軸移動量 13mm
プローブキャリア
 UP/DOWNストローク
コンタクト〜セパレート:400μm
セパレートアップ    :10μm
顕微鏡X-Yモーション X-Y フリーモーション
外形寸法 360mm(W) x 380mm(D) x 500mm(H)
重量 約30Kg (実体顕微鏡・ポジショナー4台搭載)