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| 型番
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AT-6602
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| 製品名
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サーモチャックコントロール装置
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| 特徴
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デバイスの低温から高温での温度特性測定試験を行うのに最適な装置です。
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特長
●チャックトップ（試料固定部）をドライエアで乾燥状態に保ち、試料の結露を防止し、試料台の温度を−55℃〜＋150℃に制御し、顕微鏡で観察しながらマニピュレータでプローブ針の操作が行えます。
●8インチウエハまで搭載可能。
●弊社独自の設計によるサーモチャックにより低温時における試料台の結露を防止します。
●試料台の温度制御状態でX-Yステージ移動及びプローブ針のUP/DOWN操作が行えます。
●試料台の昇降温時間 常温から−55℃ 約25分
常温から＋150℃ 約15分と短時間です。
●プローブカードの装着が可能です。
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