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| 型番
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AT-6600X
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| 製品名
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ホットチャックコントロール装置
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| 特徴
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半導体ウエハデバイスに熱ストレスを加えて電気的な温度特性評価測定試験を行うのに最適な装置です。
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特長
●ホットチャックは、構造をTriaxial
Typeとし、高温での低電流、高抵抗、低容量測定を安定状態で計測が行えます。
●ホットチャックの比熱を小さくし、昇温時間は室温→＋300℃まで15分、降温時間は＋300℃→＋28℃まで15分と優れた性能を発揮し、作業効率を大幅に短縮できます。
●ホットチャックの冷却は、吸引モーターの採用により排気ダクトで室外に出す方法で、チャックからの発塵を極限まで低減できます。
●リモートコントロール（有線）での温度制御の操作ができます。又、インターフェースは、GP-IB、RS232Cを標準装備しています。
●チャックトップは、材料をMo+Niメッキ処理により高温時におけるウエハー裏面の導通性が安定しています。（チャックトップは、シリコン素材と同等の熱膨張性になっています）
●温度制御部は、保安回路に漏電・電流遮断器を備え、瞬停時の対応は、電源が自己保持回路の構成の為、電圧復帰後に主電源はONしません。
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