アナリティカル･テストシステム用セミオートプローバ 型番 AP-2 製品名 アナリティカル･テストシステム用セミオートプローバ 特徴   半導体ウエハーの解析・評価を目的とした本プローブ装置は、プローブ〜プローブ・基板間でfA領域のIf-Vf過渡特性測定、微小容量測定、高周波測定を再現性良く計測します。又、被測定物の温度制御を行うオプションは、TRIAXIAL構造のサーモチャック（温度仕様：-55℃〜+300℃）、ホットチャック（温度仕様RT〜+300℃）を用意しています。 ▼ 特長 ●試料台ステージは各軸に0.1μm分解能リニアスケールのクローズドループ回路で構成し超高精度の移動精度です。 ●プローブのコンタクト/セパレートモードは、プローブキャリア（マニピュレータ搭載台）側の動作により顕微鏡の試料観察像はデフォーカス致しません。 ●顕微鏡は，金属顕微鏡（顕微鏡X-Yモーション・チルトUP機構装備）、実体顕微鏡を自由に選択できます。 ●金属顕微鏡仕様は，石定盤仕様の防振台を採用し経時変化の劣化を最小限としています。